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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品名稱:

AIXTRON機(jī)臺(tái)測溫儀EX-C-7FL

描述:AIXTRON機(jī)臺(tái)測溫儀EX-C-7FL系BASF生產(chǎn)的高精度藍(lán)寶石光管高溫計(jì),被用作用作AIXTRON G3,G4,G5 MOCVD機(jī)臺(tái)底部的測溫系統(tǒng)(BOTTOM TEMPERATURE MONITOR)。
訪問次數(shù): 321
更新時(shí)間: 2025-01-14

產(chǎn)品介紹

主要特點(diǎn)

  • 使用短波進(jìn)行低溫測量

  • 精密度高, 分辨率達(dá) 0.01 oC , 測溫精度1.5 oC

  • 測溫重復(fù)性 0.1 oC , 溫漂不高于 0.1 oC / 年

  • 測量速度達(dá) 1,000 值 / 秒

  • 數(shù)字/或模擬輸出, 易于集成到控制系統(tǒng)




詳細(xì)說明

AIXTRON機(jī)臺(tái)測溫儀EX-C-7FL系BASF生產(chǎn)的高精度藍(lán)寶石光管高溫計(jì),被用作用作AIXTRON G3,G4,G5 MOCVD機(jī)臺(tái)底部的測溫系統(tǒng)(BOTTOM TEMPERATURE MONITOR)。

AIXTRON機(jī)臺(tái)測溫儀EX-C-7FL包含EI110傳感器,光纖,藍(lán)寶石光管,IFD5數(shù)字模塊,IFA5模擬模塊,配套線纜等,測溫范圍覆蓋100-1800℃,精度高達(dá)1.5℃, 重復(fù)性0.1℃。

BASF Exactus®系列測溫儀已廣泛用于快速退火、快速氧化、薄膜沉積等半導(dǎo)體工藝,并被集成在多家MOCVD設(shè)備以及其他RTP設(shè)備上如:AIXTRON, LPE,Premtek等。另外,由于其具有很高的測溫精度和穩(wěn)定性,也被一些高溫黑體爐廠家作為溫度標(biāo)準(zhǔn)器使用,如Thermogauge公司。

典型應(yīng)用

  • RTP控溫

  • MOCVD控溫

  • MBE控溫

  • 溫度標(biāo)準(zhǔn)器



技術(shù)參數(shù)

測量參數(shù)
溫度范圍:

100 – 1800℃

工作波長:

1550nm

測量精度:優(yōu)于1.5℃ 或 0.15%測值
分辨率:

最高0.01℃

重復(fù)精度:0.1℃
溫度漂移:最大 0.10℃/年
環(huán)境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它溫度
鏡頭:藍(lán)寶石光管
物理參數(shù)
供電:12-28 VDC, 3W
存儲(chǔ)溫度:-20 to 70℃
環(huán)境溫度:

電子器件: 0 - 60℃
惡劣環(huán)境下專用鏡頭: 0 - 250℃
高溫光纖: 0 - 250℃

外殼材質(zhì):傳感器和鏡頭外殼,304 不銹鋼/鋁;
氣吹外殼,鋁;
惡劣環(huán)境專用鏡頭: 304 不銹鋼;
重量:標(biāo)準(zhǔn)高溫計(jì),0.510 kg (1.125 lbs.)
光纖傳感器,0.198 kg (7 oz.)









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